Tiszta helyiség statikus vezérlése
1. A statikus vezérlés alapelvei
(1) Határozza meg a statikus szabályozási szintet
(2) Minimalizálja a statikus töltés keletkezését
(3) A légtelenítési és semlegesítési módszer felgyorsítja a statikus töltés eloszlását, és megakadályozza a statikus elektromosság felhalmozódását
(4) Védje a terméket az ESD károsodástól
2. Határozza meg a statikus vezérlés szintjét
(1) Az alkatrészek, alkatrészek és berendezések elektrosztatikus érzékenységének osztályozása
1. szint: könnyen károsíthatja a 0-1999V elektrosztatikus feszültség
2. szint: könnyen károsíthatja a 2000-3999V elektrosztatikus feszültség
3. szint: könnyen károsítható 4000-5999V elektrosztatikus feszültség hatására
Ha az érzékeny statikus feszültség nagyobb, mint 16000 V, akkor nem szükséges antisztatikus intézkedéseket tenni.
(2) Az elektrosztatikus védelmi munkaterület osztályozása
A osztály: Engedje meg, hogy az elektrosztatikus potenciál a földre ne haladja meg a ± 100 V -ot
B osztály: Engedje meg, hogy az elektrosztatikus potenciál a talajra ne haladja meg a ± 1000 V -ot
A tényleges projektben az elektrosztatikus potenciál nem haladja meg a megfelelő alkatrészek, alkatrészek és berendezések, például 100V, 500V és 1000V elektrosztatikus érzékeny feszültségének 3 szintjét.
3. Minimálisra csökkentse a statikus töltés keletkezését
Ez az első lépés a statikus vezérlés trilógiájában. Ebben a tiszta munkakörnyezetben a legjobb intézkedések a következők:
(1) Próbáljon hasonló tulajdonságokkal rendelkező berendezéseket használni az érintkezési súrlódási elválasztási folyamat során keletkező elektrosztatikus töltés csökkentésére;
(2) Próbáljon statikus vezetőképes vagy statikus disszipatív anyagokat használni, hogy csökkentse a statikus töltések felhalmozódását az érintkezési súrlódás és elválasztás során;
(3) Próbáljon olyan gyártási eljárást alkalmazni, amely csökkenti az érintkezési súrlódás szétválasztásával keletkező elektrosztatikus töltést.
4. Elengedés és semlegesítés
Ez az első lépés a statikus elektromosság szabályozásának háromlépcsős folyamatában. A mikroelektronikai gyártás tiszta helyiségében a szokásos intézkedések a földelés, vezetőképes vagy disszipatív anyagok felhasználásával a statikus töltések kisüléséhez, és az ionizáló elvezetők a statikus töltések semlegesítéséhez.
(1) Földelés
A tiszta helyiséget független elektrosztatikus földelőrendszerrel kell felszerelni (beleértve a földelt földelő fémháló-támasztórendszert, a gyártósor munkaállomásának földelőtámasztó rendszerét), hogy a helyiségben lévő összes berendezés fémhéja, fémtartó a mobil berendezésekhez, antisztatikus berendezések, stb., biztonságosan és hatékonyan tudják kisütni a statikus töltéseket. Tegye a földre. A személyzet feltöltött áramát egy csuklópánton keresztül földelik, és egy antisztatikus cipőn vagy sarokpánton, majd egy antisztatikus földön keresztül vezetik le a földre. A talaj, a falak, a mennyezet, a válaszfalak stb. Kemény földeléssel vannak ellátva, míg a berendezések héja, a mobil berendezések (autók, székek, polcok stb.), A munkapadok stb.
(2) Ionizált Xiao Electric
A tiszta helyiségekben, gyártósorokon és munkaállomásokon előállított és összeszerelt alkatrészek és NYÁK -ok mindig elkerülhetetlenek, mert vannak szigetelt vezetők és szigetelő dielektromos anyagok (például a legtöbb közönséges műanyag), amelyeket nem lehet földelni. Bizonyos környezetekben gyakran ionizáló eliminátorokat használnak ezeken a tárgyakon a statikus töltések helyi eloszlatására, és gyakrabban levegő ionizálással semlegesítik a szigetelő közeg és az elszigetelt vezetők statikus töltéseit.
(3) Statikus elektromosság és statikus disszipáló anyagok
A statikus elektromosságot vezető anyagok és a statikus elvezető anyagok szintén nagyon jó statikus töltésű kisülési anyagok a statikus elektromosság vezetőképessége miatt, és biztonságosabbak, mint a fémvezető kisülések. Általában padlóként, falakként, munkaasztalként és forgalmazó konténerként használják. , Csipesz, kefe és egyéb antisztatikus berendezés.
5. Az ESD megelőzése és a termékek védelme
Ez az utolsó lépés a statikus elektromosság szabályozásának trilógiájában. A mikroelektronikai gyártás tiszta helyiségében, annak érdekében, hogy megakadályozzák az ESD kialakulását elektrosztatikusan érzékeny alkatrészeken vagy alkatrészeken, PCB -ken, az egyik módszer az, hogy megfelelő földelést vagy söntöket biztosítanak az alkatrészekhez és alkatrészekhez, hogy&"eloszlassa &"; a terméken lévő statikus elektromosság. Díj; egy másik módszer a megfelelő csomagolási módszerek és anyagok használata az elektrosztatikus érzékeny eszközök csomagolásának és szállításának kezelésére. Ezek az anyagok hatékonyan védik az elektromos töltések behatolását a termékbe, és csökkentik a statikus töltést, amelyet a termék csomagoló dobozban történő mozgása okoz.
Nemzetközi szinten gyorsan fejlődtek a félvezetők, a lapos folyadékkristályos kijelzők és az optoelektronika, egyre magasabb integrációs szinttel, vékonyabb forgácshuzal-átmérővel, és egyre magasabb követelményeket támasztanak az antisztatikus elemekkel szemben. Az Amerikai ESD Szövetség megkezdte az ANS ESD S 20.20-1999 elektrosztatikus kisülések vezérlési programjának felülvizsgálatát, és néhány módosítást hajtott végre az SSD elektrosztatikus érzékenységi osztályozásában.
Ez figyelmezteti az alkatrész -felhasználókat, függetlenül attól, hogy a személyzet vagy a berendezés mikor készít berendezést, és elmondja a szükséges környezetvédelmi előírásokat. Ha az EPA területen a megengedett feszültség eléri a 25 V-ot, attól tartok, hogy meglévő antisztatikus berendezéseinknek, berendezéseinknek, szerszámainknak és mérnökeinknek kemény munkát kell végezniük.