Az elektrosztatikus védelem alapvető elgondolása és technikai megközelítése
Az elektrosztatikus kisülés károsíthatja az eszközt, de az ESD-rendszer létrehozásához megfelelő és megfelelő ESD-védelmi és -ellenőrzési intézkedésekkel az ESD-t el lehet távolítani vagy ellenőrizni, hogy minimálisra csökkenjen az alkatrészek károsodása. Az érzékeny eszközök elektrosztatikus védelmének és vezérlésének két alapvető elképzelése van:
1. (1) Megakadályozza a statikus elektromosság felhalmozódását olyan helyeken, ahol földelhet, és bizonyos intézkedéseket hozhat az elektrosztatikus kisülés előfordulásának elkerülése vagy csökkentése érdekében, vagy az elektromos töltés felhalmozódásának megszüntetése érdekében alkalmazza a „szivárgás a generálás során” módszert. . A díjat olyan mértékben szabályozzák, hogy ne okozzon kárt.
1. (2) Gyorsan és megbízhatóan gyűjtsük össze a felhalmozott díjat.
2.1 Folyamatszabályozási módszer
Úgy tervezték, hogy a gyártási folyamat során a lehető legkevesebb statikus töltést hozza létre. Ebből a célból a folyamatáramlás, az anyagválasztás, a berendezések telepítése és üzemeltetése szempontjait a statikus elektromosság keletkezésének és felhalmozódásának szabályozására, valamint az elektrosztatikus potenciál és az elektrosztatikus kisülési képesség elnyomására használják, hogy ne lépjék túl a fokozatot. kár. A félvezető gyártási folyamathoz hasonlóan az ionmentesített víz öblítéshez való ellenállását a nagy sebességű készülék sekély csomópontjának kialakítása után kell szabályozni. Bár minél nagyobb az ellenállás, annál jobb a tisztító hatás, de minél nagyobb az ellenállás, annál nagyobb a statikus elektromosság a chipen. Ezért általában 8 MΩ-nál magasabb szintet szabályozzák, és a kezdeti folyamathoz nem lehet 16-17 M.. Ezen túlmenően az anyagok kiválasztásánál a csomagolóanyagoknak antisztatikus anyagokat kell használniuk, megpróbálják elkerülni a kezeletlen polimer anyagokat.
2.2 Szivárgási módszer
Úgy tervezték, hogy a statikus elektromosságot szivárgás útján megszüntesse. Általában az elektrosztatikus földelés az elektromos töltésnek a földre való szivárgása; van egy eljárás az objektum elektromos vezetőképességének növelésére, hogy a talaj a tárgy felületén vagy belsejében szivárogjon, például elektrosztatikus szer hozzáadása vagy a páratartalom növelése. A leggyakoribb a személyzet által viselt antisztatikus csuklópánt és a statikus földelőoszlop.
2.3 Elektrosztatikus árnyékolás
Az elektrosztatikus árnyékolás elve szerint két típusra osztható: belső mező árnyékolás és külső mező árnyékolás. A konkrét intézkedés az, hogy elkülönítse a feltöltött testet más tárgyakról, földelt képernyős fedéllel, úgy, hogy a feltöltött test elektromos mezője ne befolyásolja a többi környező tárgyat (belső árnyékolás); néha az árnyékolt burkolatot arra használják, hogy körülvegyék az elkülönített objektumot, így védve van a külső elektromos mezőktől (outfield árnyékolás). Például egy GaAs eszközcsomag fémdobozot vagy fémfóliát használ.
2.4 Összetett neutralizációs módszer
Célja, hogy komplex semlegesítés útján megszüntesse a statikus töltést. Egy földelőelosztó alkalmazása a feltöltött testen töltött ionos komplex előállítására a semlegesítés érdekében. Általában véve, ha a feltöltött test szigetelő, mivel az elektromos töltés nem áramlik át a szigetelőn, a földelési módszer nem használható az elektromos töltés szivárgására. Ebben az esetben egy antisztatikus eltávolítót kell használni a különböző ionok semlegesítésére. Ez a módszer a szállítószalagon keletkező elektrosztatikus töltés kiküszöbölésére szolgál.
2.5 Tiszta intézkedések
Úgy tervezték, hogy elkerülje az időszakos kisüléseket. Ebből a célból a feltöltött test és a környező tárgyak felületét úgy kell tartani, hogy a lehető legkisebb legyen és tiszta legyen, hogy csökkentse az időszakos kisülés lehetőségét.