Az ionventilátorok használatának feltételei a high-tech gyártásban

Jan 12, 2022 Hagyjon üzenetet

Az ionventilátorok használatának feltételei a high-tech gyártásban

Az ionventilátor terhelési technológiájának változása befolyásolja a szigetelőanyagok statikus szabályozását a high-tech termékek gyártása során. A statikus villamos energia ellenőrzése a termelési hatékonyság javításának, a minőség javításának és a nyereség növelésének alapja. A félvezetők, merevlemezek és síkképernyős kijelzők (FPD-k) gyártásában az elektrosztatikus vezérlés az egyik alapvető gyártási feltétel. A statikus elektromosság szabályozásának elmulasztása azt jelenti, hogy a termékek nagy ionszennyeződésben (ESA-probléma) és elektrosztatikus kisülésben (ESD probléma) szenvednek, amelyet az elektrosztatikus vonzás okoz.


Az olyan szervezetek, mint az ESD Association és a Semiconductor Equipment and Materials International statikus vezérlőrendszerekkel rendelkeznek, amelyek kiküszöbölik a statikus problémákat. Ennek fő módszere statikus vezetőképes anyagok és statikus disszipatív anyagok (beleértve az emberi testet is) használata a földhöz való közvetlen csatlakozáshoz a statikus elektromosság eloszlatása érdekében. Azonban mind maga a termék, mind a munkakörnyezet elkerülhetetlenül szigetelőanyagokat használ.


Ha a szigetelés szerves része magának az anyagterméknek, nem helyettesítheti azt. Például oxidrétegű szilícium ostyaanyagokat használnak high-tech termékek, epoxigyantákba burkolt egyvezetős eszközök, szigetelőanyagok eszközcsapokon, epoxi nyomtatott áramköri lapok és üveglapok gyártásában az FPD-iparban. Ezenkívül a teflon, a kvarc és sok műanyag magas hőmérsékletű, korrózióálló és tisztatér-kompatibilis, de mindegyik szigetelő anyag. A földelés nem szünteti meg a szigetelőanyagok statikus töltéseit, így a legtöbb esetben az egyetlen fennmaradó lehetőség a levegő ionizációval történő semlegesítés. Ehhez speciális statikus eliminációs berendezéseket kell használni.