ESD védelmi követelmények a tiszta helyiségekhez
Függetlenül attól, hogy a külső levegő körülményei hogyan változnak, a Cleam Room képes megőrizni az eredetileg beállított tisztaság, hőmérséklet, páratartalom és nyomás jellemzőit.
A tiszta helyiség fő funkciója annak a légkörnek a tisztaságának, hőmérsékletének és páratartalmának szabályozása, amellyel a termékek (például szilíciumforgács stb.) Érintkeznek, hogy a termékek jó környezeti térben legyenek előállíthatók és gyárthatók. Ezt a teret&", tiszta szoba [GG" "-nek nevezik;&";
A nemzetközi szabványok szerint a tiszta helyiségek szintje elsősorban azon légköbméterenkénti részecskék számán alapul, amelyek átmérője nagyobb, mint az osztályozási szabvány.
A tiszta helyiséget a következő követelményeknek megfelelően kell kialakítani:
1. Antisztatikus padló: pont-pont ellenállás< 10e9ω;="" pont-föld=""><>
2. Antisztatikus falitábla: pont-pont ellenállás< 10e9ω;="" pont-föld=""><>
3. Antisztatikus ablak: pont-pont ellenállás< 10e9ω;="" pont-föld=""><>
4. Megbízható földelő rendszer: pont-pont ellenállás<>
5. Levegő ionizációs rendszer: Határozza meg az egyensúlyi feszültségtartományt és a feszültségmentesítési időt a technológiai technológia szerint. Ajánlás: mérlegfeszültség< ±="">